第一臺油式旋片真空泵發明于1909年德國。中國在過去的30年工業化過程中，油式旋片真空泵大量使用，幾乎每個需要高真空的工業生產領域都離不開油式選片真空泵，例如，真空鍍膜，真空燒結，真空熱處理，真空凍干食品等，這些泵的使用中也存在很多不利因素：

1. 油式旋片真空泵會排出很多油霧，VOC（揮發性有機化合物）

2. 每年需要消耗很多真空油

3. 維護保養頻繁，對連續生產造成影響

隨著產業升級，以及國家環保政策的頒發，這些對環境不友好的的設備應該被新技術產品替換。干式螺桿真空泵將成為替代油式真空泵理想產品。

干式真空泵起源于90年代，最早用在半導體行業，無油無水運行，優勢明顯，但是制造技術復雜，一直由西方少數幾個公司掌握，價格非常昂貴，導致很多領域不得不采用油式的真空泵，中國制造業占全球一半比重，廣泛的用干式真空泵代替油式真空泵具有重大意義，對于減少全球碳排放相當重要。

青島仲尼機械有限公司研究真空泵的生產與應用十幾年，較早就關注油式旋片真空泵的使用弊端問題，一直想把干式螺桿真空泵技術突破，應用在更廣泛的領域，于2015年開始行業調研，2017年選取研發方向，確定干式真空泵產品型號，瞄準幾個痛點領域，首先選取了真空熱處理行業，成功用干式真空泵替代油式真空泵，雖然客戶初期采購成本比油式真空泵高了一些，但是后期使用非常滿意，沒有油煙排放，工人工作環境獲得極大改善，也沒有環境排放問題，也不需要經常的保養維護泵，提高了生產效率?？蛻粽f，原來國外的干式真空泵也考慮過，價格實在太貴，現在終于能用的起干式真空泵了！

     后期，隨著我們干式真空泵的規?；慨a，定會加速讓全國，全球熱處理行業用戶把油式真空泵淘汰掉。